钆镓石榴石GGG薄膜单晶衬底基片_众铂新材料

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   钆镓石榴石（GGG）是用于磁光薄膜的专用基片。在光通讯设备中，需大量使用 1.3μ及 1.5μ的光隔离器，其核心部件为置于磁场中的 YIG 或 BIG 薄膜。不同切向的 GGG 单晶基片可以做到与这类磁光材料晶格的*佳匹配，从而保证 YIG、BIG 薄膜成功的外延生长。GGG 良好的物理、机械性能和化学稳定性也保证薄膜制备过程中对基片的各项要求。GGG 也是制作微波隔离器的*佳基片材料。

主要性能参数

晶体结构：立方

生长方法：提拉法

晶格常数：a=12.376?,(Z=8)

熔点（℃）：1800

纯度：99.95%

密度（g/cm3）：7.09

硬度：6-7（mohs）

折射率：1.95

尺寸：10x3，10x5，10x10，15x15，20x15，20x20，dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm

厚度：0.5mm，1.0mm

抛光：单面或双面

晶向：<111>±0.5?

晶面定向精度: ±0.5°

边缘定向精度: 2°（特殊要求可达 1°以内）

斜切晶片：可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角 1°－45°）的晶片

Ra: ≤5?（5?m×5?m）

包装：100 级洁净袋，1000 级超净室

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